制御周波数範囲 | 25,50,100,200,500,1000Hz |
制御分解能 | 200,400,800ライン |
データ点数 | 最大256K点(K:1024) |
補正方法 | 伝達関数補正/繰り返し誤差補正 |
干渉補正 | 有り |
制御周波数範囲 | 50,100,160,200,250,400,500,800,1000Hz |
制御分解能 | 100,200,400,800ライン |
制御方法 | 最大値,最小値,平均値 |
試験時間 | 最大9999時間 |
干渉補正 | 有り |
制御周波数範囲 | 1Hz~5000Hz |
制御方法 | 最大値,最小値,平均値 |
振幅推定 | トラッキング |
試験パターン | 周波数掃引(Log/Linear)或いは固定周波数 |
掃引パターン | 定レベル多段設定/ブレークポイント設定(最大32段) |
試験時間 | 最大9999時間 |
位相制御 | 制御立ち上げ時に位相を制御しその後は位相誤差追従制御 |
干渉補正 | 無し |